Когато вашите проекти изискват почти перфектна оптична яснота и термична устойчивост, Fused Silica Super Smooth Mirror Substrate осигурява несравнима производителност. С грапавост на повърхността под 0.5 nm RMS и плоскост λ/10 при 633 nm, тези субстрати минимизират разсейването на светлината дори в екстремни условия. Проектирани за аерокосмически, полупроводникови и лазерни приложения, те съчетават ултрагладки повърхности с висок праг на лазерно увреждане (40 J/cm² @ 1064nm), за да отговорят на строгите индустриални стандарти.
| Параметър | Спецификация |
|---|---|
| Измерение | D=φ12.7-φ100mm(±0.01), H=4-8mm (customizable)(±0.05) |
| Размер на началния удар | 1/2D < Размер на началния удар < D (може да се персонализира) |
| Радиус на кривината | SR=500-8000 (може да се персонализира), точност ±0.05% |
| Повърхностна точност | λ/2-λ/10@632.8nm |
| Сферична точност | 30"-3′ |
| грапавост | Ra0.12nm (Zygo профильор, 173*173μm площ) |
| материали | ULE, стопен силициев диоксид, zerodur, сапфир, K9, монокристален силиций |
| Приложение | Високомощен лазер, високопрецизна оптична инспекция, производство на полупроводници, инспекция на полупроводници |
| Специфичните индикатори не са в горния обхват и могат да бъдат персонализирани според нуждите на потребителя. | |
Забележка: Спецификациите могат да бъдат персонализирани, за да отговарят на вашите специфични изисквания.

1. Изисквания за изпращане: Споделете спецификации/чертежи по имейл
2. Преглед на проекта: Получете инженерна обратна връзка в рамките на 72 часа
3. Прототип: Получаване на тестови бройки до 14 дни
4. Производство: Мащабно с качество, сертифицирано по партиди

„Постоянните повърхности с RMS дебелина от 0.32 nm решиха предизвикателствата ни с огледалото на EUV колектора.“ – Лидер в полупроводниковата индустрия

1. Какво прави супер гладкия огледален субстрат от разтопен силициев диоксид идеален за лазери?
Тяхната грапавост <0.5 nm намалява разсейването, докато високата LIDT (40 J/cm²) предотвратява повреда на лъча.
2. Можете ли да създавате основи, по-големи от 500 мм?
Да – свържете се с нас за персонализирани решения за голям формат до 800 мм.
3. Как се сравняват термичните свойства с тези на Zerodur?
Нашият стопен силициев диоксид предлага по-добра UV пропускливост и по-нисък CTE (0.55 срещу 0.85 x10⁻⁶/K).
4. Какви покрития препоръчвате за UV литография?
Диелектрични покрития, нанесени чрез йонно-лъчево разпрашване, с абсорбция <0.1% при 13.5 nm.
Готови ли сте да подобрите оптичните си системи с нашия супер гладък огледален субстрат от разтопен силициев диоксид ? Нашият екип е тук, за да ви помогне с всякакви въпроси или персонализирани изисквания. Свържете се с нас на xachaona@163.com и нека обсъдим как можем да подкрепим следващия ви проект.
Научете за най-новите ни продукти и отстъпки чрез SMS или имейл